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EMMI微光顯微鏡
微光顯微鏡（Emission Microscope，化學開封機， EMMI）是常用漏電流路徑分析手段。對于故障分析而言，微光顯微鏡（Emission Microscope， EMMI）是一種相當有用且效率極高的分析工具。主要偵測IC內部所放出光子。在IC元件中，化學開封機設備，EHP（Electron Hole Pairs）Recombination會放出光子（Photon）。如在P-N結加偏壓，化學開封機供應商，此時N阱的電子很容易擴散到P阱，而P的空穴也容易擴散至N，然后與P端的空穴（或N端的電子）做EHP Recombination。在故障點定位、尋找近紅外波段發光點等方面，微光顯微鏡可分析P-N接面漏電；P-N接面崩潰；飽和區晶體管的熱電子；氧化層漏電生的光子激發；Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD等問題.
超聲波顯微鏡在失效分析中的應用
晶圓面處分層缺陷 錫球、晶圓、或填膠中的開裂晶圓的傾斜各種可能之孔洞（晶圓接合面、錫球、填膠…等）。超聲波顯微鏡的在失效分析中的優勢非破壞性、無損檢測材料或IC芯片內部結構 可分層掃描、多層掃描 實施、直觀的圖像及分析 缺陷的測量及缺陷面積和數量統計 可顯示材料內部的三維圖像 對人體是沒有傷害的 可檢測各種缺陷（裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞等）
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第5年
