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各種常見的廢氣化學性質及光解反應機理
化學反應的實質是舊鍵破壞和新鍵形成的過程。破壞化學鍵需供給能量，廢氣處理設備廠家，形成化學鍵放出能量，化學反應本質上是新舊分子鍵的能量之差。
光化學反應的本質也同化學反應一樣。用高能紫外光分解惡臭氣體，使其分子鍵裂解轉變成無臭氣體，也就是意味著要切斷惡臭分子的分子鏈。要切斷惡臭分子的分子鏈，就要使用比惡臭分子的結合能強的光子能。
波長較短的紫外線其光子能量越強，如，波長為170nm的紫外線，其光子能量為700 KJ/mol，波長為253.7nm的紫外線，其光子能量為472 KJ/mol，波長為365nm的紫外線，其光子能量328 KJ/mol等等，像這些波段的紫外線它們能量當級都比大多數惡臭氣體的分子結合能強，所不同的是，波長在200nm以下的短波長紫外線能分解O2分子，生成的O*與O2結合生成臭氧O3。
用這種方式獲得的臭氧，因獲得復合離子光子的能量后，能極為迅速地分解，分解后產生氧化性更強的自由基O、OH、H2O等。O、OH、H2O與裂解后的惡臭氣體原子發生一系列協同、氧化反應，惡臭氣體終被氧化降解為低分子物質如：水和CO2，SO4、等等，而達到終的脫臭凈化目的。
噴漆廢氣中的三ben濃度一般低于300mg/m3， 低濃度、大風量的有機廢氣治理，采用催化燃燒法（適用于濃度大于500mg/m3）處理不合適， 所以只能用低溫等離子廢氣處理設備來處理這種類型的工業廢氣。（適應于家具廠、鞋廠、五金廠、電子廠、工藝品廠、印染廠、塑料制品廠等等）
同樣，等離子技術處理涂裝系統廢氣，油墨廢氣，高壓靜電式的印刷印染廢氣都有獨到的優勢。
低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質的第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到分解污染物的目的。
低溫等離子體工業廢氣處理成套設備和技術作為一種新型的氣態污染物的治理技術是一個集物理學、化學、生物學和環境科學于一體的交叉綜合性電子化學技術，由于能很容易使污染物分子分解且處理能耗低等特點，是目前國內外大氣污染治理中富有前景、行之有效的技術方法之一，其使用和推廣前景廣闊，為工業領域甲醛類有機廢氣及惡臭氣體的治理開辟了一條新的思路。
低溫等離子廢氣處理設備的技術機理：
等離子體去除惡臭是通過兩個途徑實現的：一個是在高能電子的瞬間是高能量作用下，打開某些有害氣體分子的化學鍵，使其直接分解成單質原子或無害分子；另一個是在大量高能電子、離子、激發態粒子和氧自由基、氫氧自由基（自由基因帶有不成對電子而具有很強的活性）等作用下的氧化分解成無害產物。
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