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在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強烈的腐蝕性和毒性。因此在電力系統GIS等應用SF6的工作場所，要加裝SF6氣體泄漏監測設備，SF6氣體監測的主要方法有一下四種:
1)電化學技術(TGS830、TGS832)費加羅傳感器或鹵素氣體傳感器。
電化學技術的原理是被檢測氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發生相應的化學反應，從而產生電信號的改變，以此來發現被檢測氣體。電化學技術其成本低、壽命長、結構簡單，可以連續工作的特點。
2)高壓擊穿技術。
電i擊穿技術是從SF6在電力上的典型應用--作為絕緣氣體應用在GIS開關柜中演變而來的。其工作原理是根據SF6氣體絕緣的特性，從置于被檢測空氣中的高壓電極間電壓的變化來判斷空氣中是否含有SF6氣體。因其結構相對簡單，成本低，檢測精度相對高的特點。
3)紅外光譜技術(IAC510)
紅外光譜吸收技術(又稱激光技術)的原理是SF6作為溫室氣體，對特定波段的紅外光有很強烈的吸收特性。紅外光譜技術的特點是成本高，結構復雜，六氟化硫實體商，靈敏度高，不受環境的影響和干擾，對環境的溫度和濕度的變化所帶來的檢測誤差很小，由于其是采用主動抽取測試點氣體的原理，帶來的效果是發現泄漏早，反應迅速。同時系統結構對工程實施中的布線也帶來了很大的方便。
4)電子捕獲ECD原理
電子捕獲檢測器(electron capture detector)，簡稱ECD。 電子捕獲檢測器也是一種離子化檢測器，它是一個有選擇性的高靈敏度的檢測器，六氟化硫結構，它只對具有電負性的物質，如含鹵素、硫、磷、氮的物質有信號，物質的電負性越強，也就是電子吸收系數越大，六氟化硫密度，檢測器的靈敏度越高，而對電中性(無電負性)的物質，如烷烴等則無信號。
六氟化硫氣體之所以有比較好的絕緣性能，是因為六氟化硫氣體具有負電性，就是說六氟化硫分子能夠吸附氣體中的自由電子，而變成負離子，這種負離子的質量遠遠大于自由電子的質量，因此運動速度大大降低，此外，間隙中自由電子的數量減少了，就難以形成擊穿通道。所以其絕緣性能比較好。另外，這種負電性在高溫下，也就是在滅弧時也是十分有利的。
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