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陜西屹達空壓機有限公司
主營：螺桿空壓機,全無油空壓機,中高壓空壓機,后處理,儲氣罐
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真空泵組閥片可以有效地減少多余功耗的投入，增加和效率下降閥片，經(jīng)常是下部緊貼在真空泵機組端面圓盤上，上部擺開一個角度，被扭曲成“S”形，經(jīng)過長時間的使用會出現(xiàn)設(shè)備老化的情況。此時設(shè)備的工作狀態(tài)出現(xiàn)問題，閥片中間應(yīng)力過于集中，加快了其他部件的疲勞和破壞程度，減少了設(shè)備使用壽命，導(dǎo)致閥片從中間部分出現(xiàn)斷裂情況，影響正常使用。
分子泵：分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。
真空泵按其工作原理，基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。氣體輸送泵包括：1、液環(huán)真空泵(水環(huán)式真空泵)2、往復(fù)式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復(fù)合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等。氣體捕集泵包括：吸附泵和低溫泵等。工業(yè)中應(yīng)用多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等。
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