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陜西屹達(dá)空壓機(jī)有限公司
主營(yíng)：螺桿空壓機(jī),全無(wú)油空壓機(jī),中高壓空壓機(jī),后處理,儲(chǔ)氣罐
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電機(jī)溫度高某公司的300MW機(jī)組，每臺(tái)機(jī)組配備2臺(tái)機(jī)械真空泵，其中1臺(tái)運(yùn)行，1臺(tái)備用。真空泵用于機(jī)組啟動(dòng)時(shí)抽真空，正常運(yùn)行時(shí)用于抽出凝汽器中未凝結(jié)的氣體。該泵配備電機(jī)160kW，轉(zhuǎn)速590r/min，額定電流330A，電壓380V，B級(jí)絕緣，正常運(yùn)行時(shí)電流220～230A。每年夏季，電機(jī)溫度都會(huì)超限，加裝臨時(shí)冷卻風(fēng)機(jī)，但收效不大。電機(jī)長(zhǎng)期高溫運(yùn)行會(huì)造成絕緣老化，縮短其使用壽命。
流量單位時(shí)間流過(guò)任意截面的氣體量，符號(hào)用“Q”表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。流導(dǎo)表示真空管道通過(guò)氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差。符號(hào)記作“U”。標(biāo)準(zhǔn)大氣壓壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓，符號(hào)：（Atm）。極限真空真空容器經(jīng)充分抽氣后，穩(wěn)定在某一真空度，此真空度稱(chēng)為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣，再經(jīng)12小時(shí)抽真空，一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測(cè)量一次，取其10次的平均值為極限真空值。
分子泵：分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱(chēng)之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿(mǎn)足不同場(chǎng)合的需要。
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第11年
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