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主營(yíng)：熱式質(zhì)量流量控制器,顯示儀,電磁截止閥,電磁調(diào)節(jié)閥,過濾器
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流量控制器在高壓條件下如何使用?
質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小， 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn): 一， 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二， 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號(hào); 三， 要在MFC氣路前面加減壓閥， 穩(wěn)定入口氣壓，流量表報(bào)價(jià)， 在MFC下游加背壓閥， 穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓， 適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥， 要保證MFC的工作壓差不會(huì)超過規(guī)定的范圍。只要做到以上三點(diǎn)， MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。
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流量控制器的原理是什么？
質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。質(zhì)量流量控制器的剖面結(jié)構(gòu)圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大， 放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較， 再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，流量表哪家好，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源，數(shù)字電壓表， 設(shè)定電位器， 外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。氣體質(zhì)量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。
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如何提高流量控制器的準(zhǔn)確度？
提高氣體質(zhì)量流量控制器實(shí)用準(zhǔn)確度的措施為：
1.針對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器的實(shí)際工藝參數(shù)，對(duì)該流量計(jì)進(jìn)行“個(gè)性化標(biāo)準(zhǔn)”，流量表多少錢，從而實(shí)現(xiàn)在實(shí)際使用流量點(diǎn)的一定范圍內(nèi)，該氣體質(zhì)量流量控制器的實(shí)際測(cè)量誤差(與標(biāo)準(zhǔn)值的差)趨于零。
2.把好氣體質(zhì)量流量控制器的安裝環(huán)節(jié)，減少或消除機(jī)械應(yīng)力、機(jī)械扭力和機(jī)械振動(dòng)等對(duì)該流量計(jì)使用的影響。
3.考慮工藝壓力、溫度等對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器測(cè)量準(zhǔn)確度的影響。
4.把好氣體質(zhì)量流量控制器的投用關(guān)。
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第6年
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