進口分子泵作為真空設備的部件，其性能直接影響真空系統的穩定性與可靠性。為確保設備滿足工藝要求，投入使用前必須進行嚴格的技術檢測，主要內容包括：

1.性能參數檢測

*極限真空度檢測：在標準測試罩條件下，測量分子泵單獨運行所能達到的壓力，驗證其抽氣能力是否符合技術規格。

*抽速檢測：在不同入口壓力下測定抽速曲線，評估其抽氣效率，確保滿足系統需求。

*壓縮比檢測：針對特定氣體（如氮氣、氦氣），測試入口與出口壓力比值，評估其對輕質氣體的抽除能力。

*啟動時間與過載能力：檢測分子泵從啟動到達標轉速所需時間，以及在短暫暴露大氣后的恢復性能。

2.機械與電氣性能檢測

*振動與噪音檢測：使用振動測試儀與聲級計，在額定轉速下檢測振動幅度與噪音水平，評估轉子動平衡及軸承狀態。

*軸承溫度監測：運行過程中實時監控軸承溫升，異常溫升可能預示潤滑不良或裝配問題。

*電機電流與功耗：檢測運行電流與功率是否穩定，異常波動可能反映內部摩擦或電氣故障。

*冷卻系統效能：驗證水冷或風冷系統能否有效控制泵體溫度。

3.外觀與密封性檢查

*外觀檢查：確認外殼無運輸損傷，法蘭面光潔平整無劃痕。

*氦質譜檢漏：對泵體整體及焊縫、密封接口進行高靈敏度檢漏，確保真空密封性達標。

4.控制系統與安全功能驗證

*啟停邏輯測試：驗證控制器指令響應及狀態反饋是否準確可靠。

*安全保護測試：模擬過載、過熱、冷卻失效等故障，確認安全聯鎖功能（如自動停機、報警）正常觸發。