渦輪分子泵作為高真空系統(tǒng)的部件，其性能直接影響實驗或生產(chǎn)質(zhì)量。科學(xué)、規(guī)范的維護保養(yǎng)是保障其長期運行的關(guān)鍵：

日常維護(每次使用后/每日)：

*表面清潔：使用無絨布清潔泵體外殼、法蘭接口，防止灰塵進入。

*環(huán)境監(jiān)控：確保泵體周圍通風良好，無熱源、振動源，環(huán)境溫度、濕度在允許范圍內(nèi)。

*運行：啟動/運行中異常噪音（尖銳摩擦、撞擊聲）、觀察振動是否異常增大。

*冷卻檢查：確認水冷系統(tǒng)流量、溫度正常（如適用）；風冷散熱器無積塵堵塞。

*基礎(chǔ)參數(shù)：記錄啟動時間、達到工作真空度時間、極限真空度、運行電流等基礎(chǔ)參數(shù)，便于趨勢分析。

定期維護(按運行小時/月)：

*前置過濾檢查：清潔或更換入口處防塵網(wǎng)/粗抽過濾器。

*冷卻系統(tǒng)維護：水冷系統(tǒng)檢查水質(zhì)、清理過濾器；風冷系統(tǒng)除塵。

*電源與接口檢查：檢查電源線、信號線連接是否牢固可靠。

*真空密封檢查：檢查各法蘭接口密封圈(O型圈)狀態(tài)，清潔密封槽，必要時更換老化或損壞的密封圈（使用真空油脂）。

*控制器狀態(tài)：檢查控制器面板指示燈、報警信息是否正常。