光學干涉膜厚儀利用光入射不同界面發生反射和透射而產生干涉條紋的原理，對薄膜材料的厚度進行非接觸式、無損、精準快速的測量。這種測量方式具有多種優勢，如實時反映生產過程中薄膜的厚度趨勢、幫助調節生產設備以實現更穩定一致的生產，以及輸出統計參數如橫向縱向趨勢圖、最大值、最小值、極差、CPK等。

關于光學干涉膜厚儀能檢測到的最小厚度變化，這實際上取決于具體的儀器型號和技術規格。不同品牌、型號的光學干涉膜厚儀，其測量精度、分辨率等參數可能會有所不同。一些高端的光學干涉膜厚儀可能具有非常高的測量精度和分辨率，能夠檢測到非常微小的厚度變化。然而，這也受到測量環境、樣品特性等多種因素的影響。

因此，要確定光學干涉膜厚儀能檢測到的最小厚度變化，需要參考具體儀器的技術規格和使用說明。同時，為了保證測量結果的準確性和可靠性，還需要注意儀器的校準和維護，以及正確選擇和使用測量參數和方法。

總之，光學干涉膜厚儀在薄膜材料厚度測量方面具有廣泛的應用前景和重要性，其能夠檢測到的最小厚度變化取決于具體儀器的技術規格和使用條件。