渦輪分子泵作為高真空系統的動力，其穩定運行直接關乎實驗精度與設備壽命?？茖W保養是關鍵，主要涵蓋以下層面：

一、日常操作規范(基礎防線)

*潔凈啟停：啟動前確保腔體清潔干燥，避免顆粒物或腐蝕性氣體進入；停機時遵循“先關高真空閥，后停泵”原則，防止泵油倒吸污染。

*平穩運行：運行中監控振動與噪音，異常波動往往是軸承磨損或動平衡失效的信號，需立即排查。

*冷卻保障：確保水冷系統暢通，水溫流量達標（參照手冊），過熱會加速潤滑油老化及部件變形。

二、周期性維護(主動防御)

*油霧過濾器：每3-6個月檢查/更換，失效會導致油蒸氣反流污染腔體，影響真空度。

*潤滑油監測：每運行2000-4000小時或按廠家建議更換潤滑油。舊油氧化會產生酸性物質腐蝕軸承。換油時排空舊油并清洗油箱。

*軸承狀態：運行聲音，異常高頻噪音或振動加劇提示軸承磨損（尤其磁懸浮軸承需檢測）。定期檢查軸承溫度。

*密封與連接：檢查O型圈、法蘭密封面是否老化龜裂，真空脂是否均勻無雜質，及時更換失效密封件。

三、深度保養與服務

*內部清潔：每1-2年或污染嚴重時，由人員拆卸清洗泵體內部，清除沉積物（尤其渦輪葉片間），恢復抽速。

*軸承更換：機械軸承壽命通常1-3萬小時，到期或異常時需由原廠或授權機構更換，確保動平衡精度。

*電路檢測：定期檢查電源、控制器接線及散熱，避免電氣故障導致停轉。

安全提示：

*維護前務必斷電，待泵體完全冷卻！

*高速轉子具有慣性，勿強行制動！

*嚴格使用廠家耗材（油品、密封件）。

存放要點：長期停用需排空潤滑油，充入干燥氮氣密封進出口，存放于干燥無塵環境。

遵循手冊，定期維保，您的渦輪分子泵將持久提供純凈、穩定的高真空環境，為科研與生產保駕護航。