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真空泵長期未工作或環境溫度較低時，可能引起起動困難，這時應使真空泵的抽氣口通大氣，用豐轉動皮帶輪(不賈接電源入使真空泵旋轉數周后再起動。若是直接聯真空泵，可繼續動電動機數次，將真空泵腔內的存油排入油箱，即可起動。若然不行，可用輻射加熱或紅外燈對真空泵直接加溫，直到能動為止。
選擇合適的真空泵：根據設備的需要，選擇合適的真空泵類型，如旋轉葉片泵、干式泵等。同時，通過選擇不同功率的真空泵，可以提高抽氣速率，從而更有效地達到所需的真空度。
真空泵維修、抽不到真空泵的極限真空度其他原因主要有：泵油污染，需要換油；泵內油過濾器堵塞，引起壓縮注油系統油路不暢，供油不足，導致泵體密封不嚴，這時需要清洗內部油過濾器；配油器閥門變形、磨損或損壞也可導致供油不足，這時應檢查更換配油器閥門

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