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愛德華分子泵控制器每次停機后，必須清洗每個分子泵的入口，以保持其清潔，以避免不必要的損壞。
檢查真空表是不是出現了問題，愛德華分子泵控制器出口是否打開，機械泵油是否太臟，機械泵是否旋轉，系統是否漏氣。分子泵的葉片或轉子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。
當出現警告信息“ EF”時，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機q進行檢查。在再次打開愛德華分子泵控制器之前，請確保水路暢通。當出現其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。

分子泵維修費用

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