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愛德華分子泵維修故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置，此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常，可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。
當出現警告信息“ EF”時，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機q進行檢查。在再次打開愛德華分子泵維修之前，請確保水路暢通。當出現其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。
當愛德華分子泵維修M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時，請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。

各位大佬誰清楚,Edwards二手分子泵如何維修？想知道

正常使用下，為什么Edwards二手分子泵油池會出現裂紋或者變形原因：過熱，負載大解決措施：檢查冷卻系，檢查系統全文
潽拓光電：渦輪干泵維修

渦輪干泵在維修時，常見的故障及對應的解決方法包括： 1.泵不能運轉。這可能是由于供電線路保護元件誤動作、接線頭松動或斷線以及電機過載等原因造成的；對此需要檢查保護元件是否正常.. 全文
問一下：分子泵常見的故障有哪些？應該怎么處理？

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大神們！麻煩回答一下愛德華分子泵如何維修？

愛德華分子泵有防護網保護，為什么還會有大塊碎玻璃掉入泵內？原因：防護網裂開，前級管道裂開解決方法：優化系統設計全文

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