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對于高真空/超高真空系統，當系統內的壓力低于10-6毫巴以后，系統內氫氣占的比例越來越大，而此時氫氣的返流也越來越明顯，因此此時分子泵的有效抽速已經與產品說明書給出的參數相差很大了。分子泵對氫氣的壓縮比越大，分子泵對氫氣的實際有效抽速就越大；反之，則實際有效抽速已經所剩無幾。
在高真空渦輪分子泵剛剛開始工作的階段，由于有大量的氣體由進氣口被抽到排氣口，所以這種返流對實際抽速帶來的影響不是很大，而隨著進氣口壓力的下降，分子泵抽下來的氣體量在減少，這時，氣體返流對抽速的影響也就大起來了。這就是分子泵對小分子氣體，特別是氫氣的抽氣能力較差的原因。
高真空渦輪分子泵內有一個高速旋轉（每分鐘幾萬轉）的轉子，轉子上有渦輪和拖動級進行抽氣。

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