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假如pfeiffer普發分子泵有吸進雜質、粉塵、水份、化合物等潛在性風險，應當在真空泵進風口部位改裝反滲透設備，假如雜質、粉塵、水份過多，務必改裝存錢罐開展過慮，以避免粉塵及其水份化合物等雜質進到真空泵。
一般情況下，pfeiffer普發分子泵工作2000小時后需要進行檢修，檢查橡膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，并清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。用qi油清洗整個真空泵腔內的轉子、旋片、彈簧等，并烘干，橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時一定要輕拿輕放小心碰傷。

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