封式旋片泵（即油泵）極限真空能到達10-3mbar，但油泵容易產生返油倒吸的問題，如果沒有控制返流的安全閥，或者不合理的放氣程序都會引起油蒸汽的返流，不合要求的安全閥也會引起油污染，從而導致分子泵提供.. 全文

連接OSAKA真空泵和被抽系統的管道應盡可能短且粗，并且管道的內徑通常應不小于干式真空泵入口的直徑，以免產生抽吸率受干管道阻力的影響。 全文

二手萊寶分子泵低噪音，低振動。結構緊湊，體型小，節省空間。在低壓強下仍能保持高的抽速。 全文

真空度很好的情況下，Edwards真空分子泵油為何會返到前級管道？ 原因：油池裂開或密封不良 解決方法：檢查油池 全文